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TORAY日本东丽半导体LCD电子元氧分析仪

TORAY日本东丽半导体LCD电子元氧分析仪
最多可同时测量 8 个点
可以显示从ppm级到100%的各种浓度。
非常适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。
传感器直接插入(NW 法兰 16/25/40 用于真空)
坚固耐用的传感器,带有特殊涂层,更耐用

  • 产品型号:MS-510
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-03-06
  • 访  问  量:118
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联系电话:13693291657

详细介绍

TORAY日本东丽半导体LCD电子元氧分析仪

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血YANG定量计半导体、LCD 和电子元件相关应用用于半导体、电子元件的氧分析仪

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860


血YANG仪 MS-500

MS-500

  • 最多可同时测量 8 个点

  • 可以显示从ppm级到100%的各种浓度。

  • 非常适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。

  • 传感器直接插入(NW 法兰 16/25/40 用于真空)

  • 坚固耐用的传感器,带有特殊涂层,更耐用

MS-500 规格

测量原理氧化锆阴影电池供电
形状分体式(换能器:壁挂式、传感器:直插式)
显示方式数字 4 位显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自动柜员机
自动量程
重复性± 0.5%FS以下 0-1%范围或更高
±1%FS或小于0.1ppm ± 小于
0-1% 范围 0-1ppm,ATM范围超出浓度保证范围
测量点数1~8
样气条件压力10-3~200KPa(绝对压力)
流量0.5~5,000mL/min或0mL/min(自发扩散状态的测量)
湿度露点低于环境温度
温度0~100°摄氏度
其他不含腐蚀性气体(氟化气体、氯气、硫化物气体等)、含有机硅的气体、易燃成分(包括气体)、油或水。
比较气体大气层
录音机输出仅传输输出
传输功率RS-232C接口
报警输出没有
预热时间6分钟内
大小MS-500 (控制器)92 (W) × 44 (H) × 120 (D) (不包括突起部分)
MS-510 (转换器)100 (W) × 40 (H) × 88 (D) (不包括突起部分)
传感器单元SD16NW系列全长:100mm(感应部分Φ11×39、机身部分Φ40×51)
SD25NW系列全长:100mm(感应部分Φ11×42、机身部分Φ40×48)
SD40NW系列全长:100mm(感应部分Φ11×41,机身部分Φ40×49)
质量MS-500 (控制器)约0.6Kg
MS-510 (变压器)约0.5kg
传感器单元SD16NW系列约0.2Kg
SD25NW系列约0.2Kg
SD40NW系列约0.35Kg
外部连接任何真空法兰(NW16、25、40)
使用的电源24VDC±10%

血YANG仪 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

  • 可以显示
    从宽浓度范围内测量的ppm水平到100%的广泛浓度范围。

  • 提高传感器耐久性氧
    传感器经过特殊处理,可提高耐久性。

  • 交流宽电源 AC100~240VAC (LC-450A)
    *LC-450D 是 DC24V 驱动

  • 结构紧凑,易于安装,
    深度甚至比我们的传统型号更短,而且不占用太多空间。

  • 符合RoHS指令的产品

  • CE标志自我声明的物品
    EN61010-1:2002,EN61326:+A3:2003

LC-450A 规格

测量原理氧化锆阴影电池供电
形状桌面/面板安装
显示方式数字 4 位显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自动柜员机自动量程
重复性±在1%FS0-1ppm以内,大气压范围超出浓度保证范围
取样方式内置泵连续抽吸
样气条件压力加压小于30KPa
流量1,000~2,000毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0~50°摄氏度
其他不含腐蚀性气体(氟化气体、氯气、硫化物气体等)、含有机硅的气体、易燃成分(包括气体)、油或水。
比较气体大气层
录音机
输出
氧气浓度输出4-20 mA 或 0-20 mA 开关(可选 0-10 V) 隔离、负载电阻 550 Ω以下
记录仪输出范围为满量程,输出与氧气浓度成线性关系
输出范围0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自动/固定范围
传输功率RS-232C接口
报警输出FAIL(设备错误)1 分无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因
设备异常导致触点闭合(触点操作可更改)
ALM(浓度报警)2 分 (H/L)无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下 发生报警时
触点闭合(触点操作可更改)
RDY(预热信号)1 分无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
  • 无电压触点的最小开关容量为 12 V 或更高,无法处理小负载。

MRK(范围标记)输出2 积分无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
预热时间5分钟内
大小物质210 (W) × 134 (H) × 300 (D) mm (不含突起部分)
质量约6kg
气体
连接端口
入口RC1/4型
旁路输出RC1/4型
出口RC1/4型
使用的电源100~240VAC, 50VA (稳态: 35VA) 50Hz/60Hz

LC-450D 规格

测量原理氧化锆阴影电池供电
形状桌面/面板安装
显示方式数字 4 位显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自动柜员机自动量程
重复性±在1%FS0-1ppm以内,大气压范围超出浓度保证范围
取样方式内置泵连续抽吸
样气条件压力加压小于30KPa
流量1,000~2,000毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0~50°摄氏度
其他不含腐蚀性气体(氟化气体、氯气、硫化物气体等)、含有机硅的气体、易燃成分(包括气体)、油或水。
比较气体大气层
录音机
输出
氧气浓度输出0-10VDC,隔离,负载电阻600kΩ以上
(可选:4-20mADC,隔离,负载电阻550 Ω以下)
记录仪输出范围为满量程,输出与氧气浓度成线性关系
输出范围0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自动/固定范围
传输功率RS-232C接口
报警输出FAIL(设备错误)1 分无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因
设备异常导致触点闭合(触点操作可更改)
ALM(浓度报警)2 分 (L/LL)无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下 发生报警时
触点闭合(触点操作可更改)
RDY(预热信号)1 分无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下 预热操作时
触点闭合(触点操作可更改)
  • 非电压触点的最小开关电容大于 12 V 或 20 mA,无法处理小负载

MRK(范围标记)输出2 积分无电压触点,触点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
预热时间5分钟内
大小物质240 (W) × 134 (H) × 210 (D) mm (不含突起部分)
质量约5kg
气体
连接端口
入口RC1/8型
旁路输出RC1/8型
出口RC1/8型
使用的电源24VDC±10%, 1.25A (30VA, 稳态)

血YANG仪LC-860

LC-860

  • 低浓度测量:能够
    测量从ppb级到100%

  • 易于操作:使用单独的按键即可轻松操作

  • 吹扫功能比较
    气体进一步稳定,可以进行更精确的测量(仅适用于具有吹扫功能的规格)

  • 高可靠性传感器:
    传感器内部也可进行防劣化处理(可选)

LC-860 规格

测量原理氧化锆阴影电池供电
形状桌面/面板安装
显示方式数字 6 位显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM
自动/固定范围
重复性± 氧气浓度小于
1 ppm和0-1 ppm,大气压范围在1%FS以内均超出浓度保证范围。
取样方式内置泵连续抽吸
样气条件压力加压小于30KPa
流量~1,500毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0~50°摄氏度
其他不含腐蚀性气体(氟化气体、氯气、硫化物气体等)、含有机硅的气体、易燃成分(包括气体)、油或水。
比较气体大气层
录音机
输出
氧气浓度输出4-20mA/0-10V
4-20mA:隔离、负载电阻 600 Ω以下
0-10V:绝缘,负载电阻 500 Ω以上
记录仪输出范围为满量程,输出与氧气浓度呈线性关系
输出范围0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可选 4 个量程自动/固定量程
传输功率RS-232C接口
报警输出FAIL(设备错误)1 分无电压触点,触点容量24VDC/AC以下,0.1A以下 因
设备异常导致触点闭合(触点操作可更改)

ALM(浓度报警)2 积分无电压触点,触点容量24VDC/AC以下,0.1A以下 发生报警时
触点闭合(触点操作可更改)
RDY(预热信号)1 分无电压触点,触点容量24VDC/AC以下,0.5A以下 预热操作时
触点闭合(触点操作可更改)
  • 无压触点的最小开关容量为12V以上,无法处理小负载。

MRK(范围标记)输出3分无电压触点,触点容量24VDC/AC以下,0.1A以下
预热时间20分钟内
大小物质288 (W) × 144 (H) × 400 (D) mm (不包括突起部分)
质量约10kg
气体
连接端口
入口RC1/8型
旁路输出RC1/8型
出口RC1/4型
使用的电源100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz







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TORAY日本东丽半导体LCD电子元氧分析仪


北崎优势:


1、以下三大类前  6  项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。


                  光源类:

1... EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4... REVOX莱宝克斯——光源箱

5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6... POLARION普拉瑞——强光灯

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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10...YAMADA依梦达——光源 (备库销售)


                 仪器仪表类:

1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪  

2... TOKI东机产业——粘度计

3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8... TORAY东丽——气体分析仪

9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12...USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13...ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15...YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16...RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17...EXCEL——听音机 (备库销售)


     









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