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日本/Magnescale半导体直线编码器

日本/Magnescale半导体直线编码器
在保持高速响应和高分辨率的同时,实现稳定的超精密测量。适用于精密工作台,半导体测试/制造设备及超精密加工机等

  • 产品型号:BS78
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-02
  • 访  问  量:31
立即咨询

联系电话:13693291657

详细介绍

日本/Magnescale半导体直线编码器

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  • 信号波长为138nm的高分辨率栅尺,超过了光波干涉仪

  • 不受湿度,气压或乱气流影响的高稳定性

  • 原点精度:±0.1µm

  • 精度:±0.04µm 或更小 (测量范围为40mm)

  • wan全非接触式,原理上不会产生返回误差

  • 测量范围:40 ~ 420mm,9种(-R/-RS)

  • 测量范围:10 ~ 420mm,10种(-N/-NS)

  • 支持真空和非磁性 (特殊规格)

  • 使用低膨胀玻璃:-0.7×10-6/℃ (测量范围:10 ~ 420 mm)

  • 分辨率:2.1pm

规格

主要规格

激光尺使用半导体激光。激光对人体有害,所以请勿直视检测读头

记载内容如有变更,恕不另行通知

型号BS78
测量范围:L(mm)10 / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 (10仅限N/NS)
栅尺全长58mm (测量范围 10mm:悬臂式) 测量范围 +26mm (测量范围 40 ~ 420 mm)
最大可动长度测量范围 +2mm (测量范围 10mm:悬臂式) 测量范围 +10mm (测量范围 40 ~ 420 mm)
精度 (20℃时)
  • NS型/RS型:

  • ±0.03μm (测量范围 10mm) (仅限NS型)

  • ±0.04μm (测量范围 40mm)

  • ±0.10μm (测量范围 70 / 120mm)

  • ±0.18μm (测量范围 170 / 220mm)

  • ±0.25μm (测量范围 270mm)

  • ±0.34μm (测量范围 320mm)

  • ±0.39μm (测量范围 370mm)

  • ±0.44μm (测量范围 420mm)

  • N型,R型:

  • ±0.06μm (测量范围 10mm) (仅限N型)

  • ±0.08μm (测量范围 40mm)

  • ±0.20μm (测量范围 70 / 120mm)

  • ±0.35μm (测量范围 170 / 220mm)

  • ±0.50μm (测量范围 270 ~ 370 mm)

  • ±0.65μm (测量范围 420mm)

光栅间距约0.55μm
信号波长约0.138μm (约138nm)
原点精度±0.1μm (仅限R/RS型)
原点位置中央及从中央向左右分别每次前进50mm处
(在测量范围为320,370,420mm时,原点位置为以50mm为间隔从中央20mm处置位)
原点检测方向单方向
温度膨胀系数-0.7×10-6/℃
光源半导体激光 波长 790nm 输出 6mW
辐射功率DHHS级1
检测方式衍射光栅扫描
工作温度范围10 ~ 30℃ (不得有结露)
保存温度范围-10 ~ 50℃ (湿度为60% 或更低)
最大响应速度400mm/s


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日本/Magnescale半导体直线编码器

北崎优势:


1、以下三大类前  6  项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。


                 光源类:

1... EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4... REVOX莱宝克斯——光源箱

5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6... POLARION普拉瑞——强光灯

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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10...YAMADA依梦达——光源 (备库销售)


                仪器仪表类:

1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪  

2... TOKI东机产业——粘度计

3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8... TORAY东丽——气体分析仪

9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12...USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13...ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15...YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16...RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17...EXCEL——听音机 (备库销售)


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