电子元件的氧分析仪TORAY东丽LC-450A氧气分析仪用于半导体、电子元件的氧分析仪
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电子元件的氧分析仪TORAY东丽LC-450A
电子元件的氧分析仪TORAY东丽LC-450A
氧气分析仪
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
测量原理 | 氧化锆浓缩池类型 | ||
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类型 | 分离型(转换器:壁挂式;传感器:直接插入式) | ||
显示系统 | 4 位数字显示(浓度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自动系列 | ||
重复性 | 满量程的 ±0.5% 以内;范围 0-1% 或更高 在满量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以内,以较大者为准;范围小于 0-1 % 浓度在 0-1 ppm 之间,大气压范围不在保修期内。 | ||
测量点数量 | 1~8 | ||
样气要求 | 压力 | 10-3至 200KPa(绝对压力) | |
流量 | 0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min(在自然分散状态下测量) | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0 至 100°C | ||
别人 | 不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气 | ||
参比气体 | 大气层 | ||
记录器输出 | 仅传输输出 | ||
传输输出 | RS-232C 系列 | ||
警报输出 | 没有 | ||
预热时间 | 6 分钟或更短 | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92 mm (W) ×44 mm (H)×120 mm (D)(不包括突出部分) | |
MS-510(转换器) | 100 mm (W) × 40 mm (H)×88 mm (D)(不包括突出部分) | ||
传感器单元 | SD16NW型 | 全长 100mm(传感器 ⌀ 11×39,机身 ⌀ 40×51) | |
SD25NW型 | 全长 100mm(传感器 ⌀ 11×42,机身 ⌀ 40×48) | ||
SD40NW 系列 | 全长 100mm(传感器 ⌀ 11×41,机身 ⌀ 40×49) | ||
重量 | MS-500(控制器) | 约 0.6 kg | |
MS-510(转换器) | 约 0.5 kg | ||
传感器单元 | SD16NW型 | 约 0.2 kg | |
SD25NW型 | 约 0.2 kg | ||
SD40NW 系列 | 约 0.35 kg | ||
外部连接 | 任何真空法兰(NW16、25 或 40) | ||
权力 | 24VDC±10% |
测量原理 | 氧化锆浓缩池类型 | ||
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类型 | 桌面型/面板安装型 | ||
显示系统 | 4 位数字显示(浓度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自动系列 | ||
重复性 | 满量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范围内的浓度(大气压)不在保修期内。 | ||
采样方法 | 使用内置泵进行连续抽吸 | ||
样气要求 | 压力 | 加压 30 KPa 或更低 | |
流量 | 1,000~2,000 毫升/分钟 | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0 至 50°C | ||
别人 | 不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气 | ||
参比气体 | 大气层 | ||
记录器输出 | 氧气浓度输出 | 在 4-20 mA 或 0-20 mA 之间切换(0-10 V 可选);绝缘;负载阻力为 550 Ω 或更低 记录仪输出范围以满量程表示,氧浓度以线性输出表示 | |
输出范围 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定范围 | ||
传输输出 | RS-232C 系列 | ||
警报输出 | FAIL (设备错误) | 1 积分 | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 发生设备故障时触点闭合(触点操作可调) |
ALM(浓度警报) | 2 积分 (H/L) | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 发生警报时触点闭合(触点操作可调) | |
RDY (预热信号) | 1 积分 | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
| |
MRK(范围标记)输出 | 2 积分 | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 | |
预热时间 | 5 分钟或更短 | ||
尺寸 | 身体 | 210 mm (W) ×134 mm (H)×300 mm (D) (不包括突出部分) | |
重量 | 约 6 kg | ||
气体连接 | 入口 | RC1/4 | |
旁通输出 | RC1/4 | ||
出口 | RC1/4 | ||
权力 | 100 至 240 V AC,50 V A(正常条件:35 V A)50 Hz/60 Hz |
测量原理 | 氧化锆浓缩池类型 | ||
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类型 | 桌面型/面板安装型 | ||
显示系统 | 4 位数字显示(浓度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自动系列 | ||
重复性 | 满量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范围内的浓度(大气压)不在保修期内。 | ||
采样方法 | 使用内置泵进行连续抽吸 | ||
样气要求 | 压力 | 加压 30 KPa 或更低 | |
流量 | 1,000~2,000 毫升/分钟 | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0 至 50°C | ||
别人 | 不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气 | ||
参比气体 | 大气层 | ||
记录器输出 | 氧气浓度输出 | 0-10 V 直流;绝缘;负载电阻 600 kΩ 或更高 (选项:4-20 mA DC;绝缘;负载电阻 550 Ω 或更低) 记录仪输出范围以满量程和氧气浓度为线性输出 | |
输出范围 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定范围 | ||
传输输出 | RS-232C 系列 | ||
警报输出 | FAIL (设备错误) | 1 积分 | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 发生设备故障时触点闭合(触点操作可调) |
ALM(浓度警报) | 2 分 (L/LL) | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 发生警报时触点闭合(触点操作可调) | |
RDY (预热信号) | 1 积分 | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 预热时 触点闭合(触点操作可调)
| |
MRK(范围标记)输出 | 2 积分 | 无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 | |
预热时间 | 5 分钟或更短 | ||
尺寸 | 身体 | 240 mm (W) ×134 mm (H)×210 mm (D) (不包括突出部分) | |
重量 | 约 5 kg | ||
气体连接 | 入口 | RC1/8 | |
旁通输出 | RC1/8 | ||
出口 | RC1/8 | ||
权力 | 24 V DC±10%,1.25 A(正常情况下为 30 V) |
测量原理 | 氧化锆浓缩池类型 | ||
---|---|---|---|
类型 | 桌面型/面板安装型 | ||
显示系统 | 6 位数字显示(浓度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0atm 自动/固定范围 | ||
重复性 | 在满量程 的 ±1% 以内氧气浓度低于 1 ppm 和浓度在 0-1 ppm 范围内,大气压范围不在保修期内。 | ||
采样方法 | 使用内置泵进行连续抽吸 | ||
样气要求 | 压力 | 加压 30 KPa 或更低 | |
流量 | ~1,500 毫升/分钟 | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0 至 50°C | ||
别人 | 不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气 | ||
参比气体 | 大气层 | ||
记录器输出 | 氧气浓度输出 | 4-20 mA/0-10 V 4-20 mA:绝缘;负载电阻 600 Ω 以下 0-10 V:绝缘;负载阻力为 500 Ω 或更高 记录仪输出范围以满量程表示,氧浓度以线性输出表示 | |
输出范围 | 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000 ppm、0-100 ppm、0-100 ppm、0-10 ppm、10-20-10-0或具有任意 4 个量程的自动/固定量程 | ||
传输输出 | RS-232C 系列 | ||
警报输出 | FAIL (设备错误) | 1 积分 | 无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下 发生设备故障时触点闭合(触点操作可调) |
ALM(浓度警报) | 2 积分 | 无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下 发生警报时触点闭合(触点操作可调) | |
RDY (预热信号) | 1 积分 | 无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 或更低,0.5 A 或更低 触点在预热期间闭合(触点操作可调)
| |
MRK(范围标记)输出 | 3 积分 | 无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下 | |
预热时间 | 20 分钟或更短 | ||
尺寸 | 身体 | 288 mm(宽)×144 mm(高)×400 mm(深)(不包括突出部分) | |
重量 | 约 10 kg | ||
气体连接 | 入口 | RC1/8 | |
旁通输出 | RC1/8 | ||
出口 | RC1/4 | ||
权力 | 100 至 120 V AC±10% 200 V A 50 Hz/60 Hz |