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TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪

TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪LC-450A
氧气分析仪
用于半导体、电子元件的氧分析仪

  • 产品型号:LC-450A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-12-03
  • 访  问  量:198
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联系电话:15510102388

详细介绍

TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪LC-450A
TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪LC-450A
氧气分析仪

用于半导体、电子元件的氧分析仪

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860


型号: MS-500

TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪

  • 能够同时测量多达 8 个点

  • 显示从 ppm 级到 100% 的广泛浓度范围

  • 安装在半导体制造设备、真空设备等中。

  • 直插式传感器 (NW 16/25/40 真空法兰)

  • 传感器采用特殊涂层,耐用性更强

MS-500 规格

测量原理氧化锆浓缩池类型
类型分离型(转换器:壁挂式;传感器:直接插入式)
显示系统4 位数字显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自动系列
重复性满量程的 ±0.5% 以内;范围 0-1% 或更高
在满量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以内,以较大者为准;范围小于 0-1
% 浓度在 0-1 ppm 之间,大气压范围不在保修期内。
测量点数量1~8
样气要求压力10-3至 200KPa(绝对压力)
流量0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min(在自然分散状态下测量)
湿度露点低于环境温度
温度0 至 100°C
别人不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气
参比气体大气层
记录器输出仅传输输出
传输输出RS-232C 系列
警报输出没有
预热时间6 分钟或更短
尺寸MS-500(控制器)92 mm (W) ×44 mm (H)×120 mm (D)(不包括突出部分)
MS-510(转换器)100 mm (W) × 40 mm (H)×88 mm (D)(不包括突出部分)
传感器单元SD16NW型全长 100mm(传感器 ⌀ 11×39,机身 ⌀ 40×51)
SD25NW型全长 100mm(传感器 ⌀ 11×42,机身 ⌀ 40×48)
SD40NW 系列全长 100mm(传感器 ⌀ 11×41,机身 ⌀ 40×49)
重量MS-500(控制器)约 0.6 kg
MS-510(转换器)约 0.5 kg
传感器单元SD16NW型约 0.2 kg
SD25NW型约 0.2 kg
SD40NW 系列约 0.35 kg
外部连接任何真空法兰(NW16、25 或 40)
权力24VDC±10%

型号: LC-450A/LC-450D

TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪

  • 测量范围广
    能够显示从 ppm 级到 100% 的广泛浓度范围

  • 提高传感器耐用性
    氧传感器上使用特殊涂层,更耐用

  • 宽交流电源范围 AC100~240VAC(LC-450A)
    * LC-450D 使用 DC 24 V 电源

  • 紧凑且易于安装
    比传统设备深度短。节省空间。

  • 符合 RoHS 规范

  • CE 标志符合性
    声明 EN61010-1:2002,EN61326:+A3:2003

LC-450A 规格

测量原理氧化锆浓缩池类型
类型桌面型/面板安装型
显示系统4 位数字显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自动系列
重复性满量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范围内的浓度(大气压)不在保修期内。
采样方法使用内置泵进行连续抽吸
样气要求压力加压 30 KPa 或更低
流量1,000~2,000 毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0 至 50°C
别人不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气
参比气体大气层
记录器输出氧气浓度输出在 4-20 mA 或 0-20 mA 之间切换(0-10 V 可选);绝缘;负载阻力为 550 Ω 或更低
记录仪输出范围以满量程表示,氧浓度以线性输出表示
输出范围0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定范围
传输输出RS-232C 系列
警报输出FAIL (设备错误)1 积分无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
发生设备故障时触点闭合(触点操作可调)
ALM(浓度警报)2 积分 (H/L)无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
发生警报时触点闭合(触点操作可调)
RDY (预热信号)1 积分无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
  • 非电压触点的最小开/关容量为 12 V 或更高;不响应极小的负载

MRK(范围标记)输出2 积分无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
预热时间5 分钟或更短
尺寸身体210 mm (W) ×134 mm (H)×300 mm (D) (不包括突出部分)
重量约 6 kg
气体连接入口RC1/4
旁通输出RC1/4
出口RC1/4
权力100 至 240 V AC,50 V A(正常条件:35 V A)50 Hz/60 Hz

LC-450D 规格

测量原理氧化锆浓缩池类型
类型桌面型/面板安装型
显示系统4 位数字显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自动系列
重复性满量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范围内的浓度(大气压)不在保修期内。
采样方法使用内置泵进行连续抽吸
样气要求压力加压 30 KPa 或更低
流量1,000~2,000 毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0 至 50°C
别人不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气
参比气体大气层
记录器输出氧气浓度输出0-10 V 直流;绝缘;负载电阻 600 kΩ 或更高
(选项:4-20 mA DC;绝缘;负载电阻 550 Ω 或更低)
记录仪输出范围以满量程和氧气浓度为线性输出
输出范围0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定范围
传输输出RS-232C 系列
警报输出FAIL (设备错误)1 积分无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
发生设备故障时触点闭合(触点操作可调)
ALM(浓度警报)2 分 (L/LL)无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
发生警报时触点闭合(触点操作可调)
RDY (预热信号)1 积分无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 预热时
触点闭合(触点操作可调)
  • 非电压触点的最小开/关容量为 12 V 或 20 mA 或更高;不响应极小的负载

MRK(范围标记)输出2 积分无电压触点;触点容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
预热时间5 分钟或更短
尺寸身体240 mm (W) ×134 mm (H)×210 mm (D) (不包括突出部分)
重量约 5 kg
气体连接入口RC1/8
旁通输出RC1/8
出口RC1/8
权力24 V DC±10%,1.25 A(正常情况下为 30 V)

型号: LC-860

TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪

  • 低浓度测量
    测量范围从 ppb 级到 100%

  • 易于操作
    通过单独的按键轻松操作。

  • 吹扫功能
    通过稳定参比气体,可以进行更宝贵的测量。(仅适用于具有吹扫功能的型号)

  • 高可靠性传感器
    可提供防止传感器退化的处理(可选)。

LC-860 规格

测量原理氧化锆浓缩池类型
类型桌面型/面板安装型
显示系统6 位数字显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0atm
自动/固定范围
重复性在满量程
的 ±1% 以内氧气浓度低于 1 ppm 和浓度在 0-1 ppm 范围内,大气压范围不在保修期内。
采样方法使用内置泵进行连续抽吸
样气要求压力加压 30 KPa 或更低
流量~1,500 毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0 至 50°C
别人不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气
参比气体大气层
记录器输出氧气浓度输出4-20 mA/0-10 V
4-20 mA:绝缘;负载电阻 600 Ω 以下
0-10 V:绝缘;负载阻力为 500 Ω 或更高
记录仪输出范围以满量程表示,氧浓度以线性输出表示
输出范围0-100%、0-10%、0-1%、0-1000 ppm、0-100 ppm、0-100 ppm、0-10 ppm、10-20-10-0或具有任意 4 个量程的自动/固定量程
传输输出RS-232C 系列
警报输出FAIL (设备错误)1 积分无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
发生设备故障时触点闭合(触点操作可调)
ALM(浓度警报)2 积分无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
发生警报时触点闭合(触点操作可调)
RDY (预热信号)1 积分无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 或更低,0.5 A 或更低
触点在预热期间闭合(触点操作可调)
  • 非电压触点的最小开/关容量为 12 V 或更高;不响应极小的负载

MRK(范围标记)输出3 积分无电压触点;触点容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
预热时间20 分钟或更短
尺寸身体288 mm(宽)×144 mm(高)×400 mm(深)(不包括突出部分)
重量约 10 kg
气体连接入口RC1/8
旁通输出RC1/8
出口RC1/4
权力100 至 120 V AC±10% 200 V A 50 Hz/60 Hz









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