ADCMT爱德万自测试设备-紧凑模块化

ADCMT爱德万自测试设备-紧凑模块化

ADCMT爱德万自测试设备-紧凑模块化

一、品牌定位与关系

• ADVANTEST（爱德万测试）：*半导体 ATE（自动测试设备）大厂，做芯片整机测试系统。

• ADCMT（爱德万）：旗下精密仪器事业部，专注台式 / 系统级直流精密测量仪器，提供 “源 + 测一体化" 模块，用于研发验证、晶圆 / 元器件产线批量测试、校准计量，适合嵌入自动化测试系统。

二、核心自动化测试设备产品线（主力）

1. 精密源表 SMU（电压 / 电流源 + 监控器，核心主力）

• 6242/6253/6254：5½ 位输出、6½ 位测量，±20V/±20A（6254）、±110V/±2A（6253）；双极性（源 / 吸双向）、25μs 高速脉冲、可变斜率（防过冲）、四线测量；适合功率半导体、低阻、电源模块、电池测试。

2. 精密直流电压 / 电流源（6146/6156/6166、6540/6541）

• 61xx：nV/nA 级分辨率、低噪声（100μVp-p）、高精度（±0.015%）、长期稳定；适合晶圆参数提取、传感器校准。

• 6540（无显示，系统集成款）/6541（台式带屏）：多通道、50μs 脉冲、双极性，产线高密度集成优选。

3. 高精度数字万用表（7351A/7455/7465）

• 5½~6½ 位、高速采样、多通道、GPIB/USB/LAN，适合自动化数据采集、分选测试。

4. 专用测量仪器：微电阻计（8340A，1μΩ 分辨率）、高阻计、光功率计等，补全特殊参数测试。

三、自动化测试核心能力（ATE 集成关键）

1. 标准通讯接口齐全：标配 USB、GPIB，可选 LAN；支持 SCPI 指令，可对接 PLC、探针台、分选机、上位机软件，远程程控、自动数据上传、判定 PASS/FAIL。

2. 多通道 / 多机同步：内部通道同步、外部触发同步，多台并联 / 级联扩展，并行测试提升产线效率、保证一致性。

3. 可编程扫描 / 序列测试：线性 / 对数 / 脉冲扫描、I-V 曲线自动绘制、多步时序编程；可做器件老化、阈值 / 漏电流 / 温度特性自动测试。

4. 系统集成型设计：6540 等型号无显示屏、体积紧凑，适合机柜堆叠、高密度产线部署；带 HiZ/STBY 输出状态管理，保护 DUT、延长继电器寿命。

四、核心特点

1. 超高精度 + 极限分辨率：电压 nV 级、电流 pA/nA 级、6½ 位测量，基本精度 ±0.02%，长期稳定性好。

2. 极低噪声、纯净输出：DC~100Hz 噪声低至 100μVp-p，适合微弱信号、半导体漏电 / 阈值测试。

3. 双极性源 / 吸一体：既能供电、又能吸收负载电流，可模拟电池充放电、负载瞬态，不用额外电子负载。

4. 高速脉冲 + 可变斜率：最小 25μs 窄脉冲，可编程上升 / 下降速率，避免电容负载过冲、防止器件自热误差。

5. 四线开尔文测量：消除引线电阻，低阻 / 接触电阻测量精准。

6. 丰富保护机制：过压、过流、过温、反接保护，输出三态（STBY/HiZ/LoZ），保护被测件。

7. 全接口自动化友好：USB/GPIB/LAN、SCPI 指令，适配自动化产线、探针台 / 分选机联动。

8. 多机 / 多通道同步：并行测试、时序对齐，提升量产效率、保证数据一致性。

9. 可编程 I-V 扫描 + 自动判定：自动生成特性曲线、上下限判定、数据记录，适合批量分选 / 老化。

10. 工业级稳定耐用：适合 24 小时连续产线运行、晶圆 / 元器件 / 功率器件 / 车载 / 医疗精密场景。

五、典型应用场景

• 半导体：晶圆探针测试、MOSFET/IGBT/SiC 功率器件、二极管 / LED 的 I-V、漏电、阈值测试。

• 元器件：电阻、传感器、电池、PCB 接触电阻、低功耗器件功耗测试。

• 产线：自动分选、老化测试、多工位并行测试、计量校准系统。