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日本/Magnescale半导体直线编码器在保持高速响应和高分辨率的同时,实现稳定的超精密测量。适用于精密工作台,半导体测试/制造设备及超精密加工机等
联系电话:15510102388
信号波长:250nm
高精度:±1μm/420mm
高速响应:1,800mm/s
最大分辨率:3.8pm
产品阵容:带原点,无原点
wan全非接触:原理上不存在返回误差
栅尺部分:ZERO玻璃,无碱玻璃
厚度:12mm的薄型读头
支持各种分辨率和输出格式 (BD96,BD700等,取决于内插盒)
可支持真空 (特殊规格产品)
主要规格 | ||
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激光尺使用半导体激光。激光对人体有害,所以请勿直视检测头 记载内容如有更改,恕不另行通知 | ||
型号 | BH25-RED | BH25-NED |
测量范围 (mm) | 30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 / 470 / 520 / 570 / 640 (ZERO玻璃,无碱玻璃) | |
栅尺全长 | 测量范围+26mm | |
最大可动长度 | 测量范围+10mm | |
精度 (20℃时) | ±0.5μm (30 ~ 170 mm) ±1.0μm (220 ~ 420 mm) | |
光栅间距 | 1.0μm | |
信号波长 | 0.25μm (250nm) | |
原点位置 | 1个 | 无 |
原点检测方向 | 单方向 | - |
温度膨胀系数 | 0.1×10-6/℃ (ZERO玻璃) 3.7×10-6/℃ (无碱玻璃) | |
光源 | 半导体激光 波长 790nm 输出 6mW | |
检测方式 | 衍射光栅扫描 | |
工作温度范围 | 10 ~ 30℃ (不得有结露) | |
保存温度范围 | -10 ~ 50℃ (湿度必须为60% 或更低) | |
最大响应速度 | 1,800mm/s | |
输出信号 | 连接内插盒等 | |
输出分辨率 | 取决于内插盒分割数 |