用液体质量流量计测量质量及流量，采用后置汽化器将对全部液体进行汽化的方式。

直接汽化法的基本原理

直接汽化法使用液体质量流量计进行质量测量，并通过汽化器内置的控制阀将流量控制后的液体连续引入汽化室。在汽化室中，液体被瞬间汽化。虽然所控制的是液体，但瞬间汽化后的气体质量不会改变，因此，如果是可以瞬间连续汽化的汽化器，液体主要的质量流量=汽化器出口处的气体质量流量。

由于汽化浓度的要素由MFC直接控制，因此稳定性，可进行高浓度汽化，这是鼓泡法难以实现的。

特点

• 无需较多温度管理

• 直接对流量进行控制，精度与稳定性

• 支持减压、常压条件下的汽化供给

• 支持大流量的汽化供给

搭载压电控制阀，对应微小流量汽化需求的小型液体汽化器。

汽化室附近搭载能够进行高速、高精度微小流量控制的压电致动器。该结构的死体积较小。

最大支持TEOS 7g/min，H2O g/min汽化量的紧凑型汽化器。通过将载气（最大流量14SLM）和液体混合并引入汽化室，可以实现稳定的汽化供给。

特点

• 微小流量汽化

• 维护成本低

• 汽化室附近搭载液体流量控制阀

使用范例

真空、大气条件下的小流量汽化

该汽化器采用紧凑型设计，结构小巧，即使在连续的微小流量下也能实现精确的流量汽化供给，且不受输出端的压力影响。

TEOS,TEB,TEPO的汽化供给

除了半导体制造工艺中经常使用的TEOS外，还可以对TEB和TEPO等各种液体进行汽化供给。此外，还可以通过串联汽化器同时汽化供应多种液体。

规格表

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