PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类加热器与过滤精度达 0.1μm的过滤器同时搭载。
该系列可用于半导体制造工艺中的液化气体过滤,接触气体部分材采用SUS316L不锈钢材质。该系列还搭载了LINTEC自主研发的低压损结构。
0.1µm 的过滤精度
最高使用温度达200℃
全金属无尘构造
VF-0201N
该系列过滤器可安装在汽化系统后方,用于消除可能导致产品缺陷的微粒及雾状物。
加热过滤器是一种过滤装置,其利用变温吸附的原理,在常温下吸附(工作),在较高温度下解析(再生)。即吸附剂在吸附过程中吸附的水分,在再生过程中, 由鼓风机提供再生气,经过加热器将环境空气加热到200℃左右进入干燥塔,依靠干燥空气的热扩散作用,清除吸附的水分,然后鼓风机停止供气,用大约5%的干燥空气进入干燥塔。
应用领域