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ULVAC爱发科用于FPD半导体电子部件等各种制造设备皮拉尼真空计SW1-N1

更新时间:2025-06-04      浏览次数:37

皮拉尼真空计Model:SW1-1(日本产) / SW1-N1(中国产)

ULVAC

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皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,最大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。




    特点

    • 测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa

    • 抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申请)

    • 优异的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度均在±20%以内(日本第4878289号)

    • 灯丝材料·铂(Pt):由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝

    • 可视化程度提高:配备可确认异常的LED

    • 一触式调整:一键式即可进行大气压力调整和零点调整

    • 维护:更换测定子更轻松

    • 适用测定子扩展:除了NW16 / 25规格外,还将Φ15/ 18规格,拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中







    用途

    • 太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备

    • 用于设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于有振动・冲击的各种真空排气系统







    规格

    ModelSW1-1SW1-2
    Connectable sensor head1 pc
    Compatible sensor headSWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(φ18), SWP-P15(φ15), SWP-CF16(ICF034), SWP-1S(ASME BPE sanitary 1")
    Measurable pressure range5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa)
    Accuracy*1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±10%
    5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20%
    Repeatability1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2%
    Sampling time50ms 5回の移動平均処理
    Value outputOutput voltage DC 0 to 10V
    Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade
    (Update time) 50ms
    Control input signalOpen collector input, Negative logic-
    ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust)-
    Control output signal

    Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]

    -
    Error signal-
    Set point 1, 2-
    Monitor for setpointSet point 1, 2: 0 to 10V Log output-
    Serial communication type-RS232C/RS485
    LED displayPOWER/ERROR: Power error LED
    SET-1: Set point 1LED-
    SET-2: Set point 2LED-
    Materal of filamentPt
    Operating temperature range10 ~ 40℃
    Operating humidity range15 ~ 80% (Not condensing)
    IP ratingIP30 (Sensor unit)
    Fixing positionFree
    Power supply voltageDC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input)
    Input/output connectorD-sub 15-pin (M2.6mm screw) - side sensor unit
    Weight150g (with SWP-16)
    Dimension (Power supply) W×D×H70mm×46mm×28mm
    Standard accessoriesQuick manual
    OptionInput/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate
    Applicable standardCE






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