日本ULVAC爱发科VSN6501 / VSN7501 油旋片式真空泵

更新时间：2025-06-07

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VSN6501 / VSN7501 油旋片式真空泵

特长

低振动

叶片型构造，大幅降低了振动传导较大的低频领域的振动。

内置式油雾过滤器

无需安装外置的油雾过滤装置，结构紧凑。

优秀的排水气能力

可直接搭载罗茨泵使用，连接简单方便。

有效的空气冷却，同时水冷可选

在非开放式厂房环境，选用水冷可有效节能。

用途

• 镀膜、溅射、离子镀。

• 气体置换、充填、真空隔热。

• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。

• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

• 检漏装置、真空成形、真空铸造。

• 真空包装、真空吸附、搬送、其它。

技术参数
外形尺寸图
抽气速率曲线

注意

* 1 为皮拉尼真空计测定值。
* 2 水蒸气容许值与水蒸气处理量是根据下表冷却水条件测定，并且冷却水的入口温度为26℃。
* 3 另备有耐压防爆型电机供选购，但宽电压不能对应。
* 4 备有其他种类的泵油，欢迎咨询。
* 5 吸排气口采用JIS规格的法兰时，接管安装尺寸会发生变化。
* 6 为极限压力时的数值。

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