NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

特长


1. NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。




2. 低噪音、低振动




3. 优良的耐腐蚀性




4. 标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。




5. 选购件




6. 可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。



用途


7. •  活性气体（CVD、刻蚀等）。




8. •  排出非活性气体（溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。




9. •  用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）




10. •  作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。




11. •  冷冻干燥等水蒸气排气。




• 技术参数

• 外形尺寸图

• 抽气速率曲线

* 1  极限压力是氮气（密封气体）在5.0 SLM时的值。

* 2  无结露。

* 3  用调节阀所调整的压力表的值。

* 4  氮气（密封气体）流量5.0 SLM是固定值。