特点

• 结构紧凑，排气量大。

• 气体接触区域不使用油的干式真空泵。

• 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。

• 内置自动复位型热保护器等安全设计。

• 大气压下可运作。

• 可全压力范围内连续运转。

• 结构简单，维护方便。

用途

• 真空吸盘，真空镊子。

• 半导体行业。（处理机，贴片机）

• FPD行业。（压合机）

• 印刷机。

• 注塑成型。

• 吸附和转移。

规格

*1:极限压力如（）真空计显示。

*2:不包括电源插头和电源线

对应标准/电压

■TUV认证是由执行产品安全测试及认证的国际第三方组织审查，符合欧洲规格的高品质产品。

使用上的注意

1　如果在负载运作期间停止泵，然后立即重新启动，则可能无法重新启动。
在这种情况下，将泵内部恢复到大气压。

2　请不要吸入腐蚀性气体，有机溶剂，液体和可冷凝气体（如水蒸气）。
另外，请确保污垢和灰尘不会进入泵内部。

3　泵的滑动材料会在运行过程中磨损，产生磨损粉末。
此外，所使用的滑动材料对抗水性较弱，因此吸入水分则会加速磨损并缩短其寿命。
不要吸入水分和可冷凝气体（水蒸汽等）。

4　仅供室内使用。
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。

尺寸图