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更新时间：2025-12-27 
浏览次数：15osakavacuum大阪真空溅射沉积用干式真空泵FR060D
osakavacuum大阪真空溅射沉积用干式真空泵FR060D
FR060D
启用大气压作。
大气压量为800升/分钟。
-启用水蒸气传递。
蒸汽耐受度为500克/小时。
-缩短蒸发时间。
容量流量800升/分钟，压力范围宽，达到极限压力。
——风冷。
应用
- 小型实验室系统
- 载锁和转选室
- 分析装置
- 真空夹头
- 加速排气
- 封装、密封
- 离子源、EB枪
- 干燥
- 溅射沉积
- 小型炉子
- TMP备份真空泵
| 模型 | FR060D | ||
| 体积流量（L/min） | *大值 | 1000 | |
| 常数 | 800 | ||
| 基压（Pa） | 无气体压载 | 1.0 | |
| 配气压载 | 2.0 | ||
| 连接 | 入海口 | KF（NW）40 | |
| 出口 | KF（NW）40 | ||
| *大蒸气耐受度※1（g/hr） | 500 | ||
| 润滑油量（毫升） | 90 | ||
| 功耗（千瓦） | 基压下 | 1.1 | |
| *大值 | 1.3 | ||
| 电源 | 电压（V） | 200-240 | |
| 频率（Hz） | 50/60 | ||
| 阶段 | 单曲 / 三 | ||
| 可容忍电压波动※2 | ±10% | ||
| 功率容量（kVA） | 3.0 | ||
| 电流（A） | 单相 | 11.1 | |
| 三相 | 6.5 | ||
| 冷却系统 | 风冷 | ||
| 体重（公斤） | 75 | ||
| 环境温度（°C） | 5-40 | ||
*1 它是气体压载物“开启"时*大处理量的单位。
*2 如需特殊规格，请联系大阪吸尘器。
