ADCMT 全新精密测量仪器系列核心技术参数详解

一、台式数字万用表（DMM）

7351E 系列 — 5½位 高速DMM

• 显示位数：5½位（最大显示 ±199,999）

  
  

• DC电压量程：100 μV ～ 1000 V，最佳分辨率 1 μV

  
  

• DC电流量程：10 nA ～ 3 A，最佳分辨率 1 nA

  
  

• 电阻测量：100 μΩ ～ 300 MΩ（支持二线/四线）

  
  

• 基本精度（DCV 1年）：±0.01 % rdg + 0.003 % f.s.

  
  

• 采样速率：最高约 140 次/秒（Fast 模式）

  
  

• 接口：USB（E型标配）、可选 GPIB / RS-232

  
  

7451A — 5½位 高速可变积分DMM

• 显示位数：5½位（最大显示 319,999）

  
  

• DC电压：1 μV ～ 1000 V，分辨率 1 μV，基本精度 ±0.01 %/年

  
  

• DC电流：10 nA ～ 3 A，分辨率 10 nA

  
  

• 电阻：100 μΩ ～ 300 MΩ（含低功耗Ω LP-Ω）

  
  

• 采样速率：最高 5,000 rdgs/s，最快采样间隔 200 μs

  
  

• 积分时间：100 μs ～ 10 s 连续可调（可变积分 A/D）

  
  

• 双通道 DCV 测量（B通道固定 10 V 量程）

  
  

• 接口：USB、GPIB 标配

  
  

7461A / 7461P — 6½位 高精度DMM

• 显示位数：6½位（最大显示 1,199,999）

  
  

• DC电压：100 nV ～ 1000 V，分辨率 0.1 μV（100 nV），基本精度 ±0.0035 %/年

  
  

• DC电流：1 nA ～ 3 A，分辨率 1 nA

  
  

• 电阻：100 μΩ ～ 100 MΩ（二线/四线）

  
  

• 采样速率：最高 20,000 rdgs/s，最快采样间隔 50 μs

  
  

• 积分时间：10 μs ～ 10 s 连续可调

  
  

• 7461P 额外支持 Pt100/JPt100 温度测量（-200～+850℃）

  
  

• 数据内存：10,000（7461A）/ 20,000（7461P）

  
  

• 接口：USB、GPIB 标配

  
  

7470 / 7481（科研级）

• 7470：7½位，DCV 分辨率 10 nV，基本精度 ±5 ppm/24 h

  
  

• 7481：8½位，最大显示 119,999,999，DCV 分辨率 10 nV，DC电流分辨率 100 fA（0.1 pA），电阻分辨率 1 μΩ

  
  

二、SMU 源测量单元（DC Voltage/Current Source-Monitor）

6240B — 含脉冲/低阻测量型 SMU

• 源范围：电压 ±15 V（直流 ±1 A，脉冲最大 ±4 A），电流 ±4 A / ±10 V

  
  

• 源分辨率：电压 10 μV，电流 1 nA

  
  

• 测量分辨率：电压 1 μV，电流 100 pA（5½位测量）

  
  

• 基本精度：±0.02 %（典型量程）

  
  

• 最小脉冲宽度：50 μs，最小步 1 μs，最大脉宽 20 ms

  
  

• 特殊功能：低电阻接触电阻测量（热电动势抵消）、Sink（吸电流）双极性输出

  
  

• 接口：USB、GPIB

  
  

6241A — 中压高精 SMU

• 源范围：电压 ±32 V / ±500 mA，电流 ±500 mA / ±32 V

  
  

• 源分辨率：电压 10 μV，电流 1 nA

  
  

• 测量分辨率：电压 1 μV，电流 100 pA

  
  

• 基本精度：±0.02 %

  
  

• 最小脉冲宽度：50 μs

  
  

• 扫描模式：线性/固定/随机/双斜率线性扫描

  
  

• 接口：USB、GPIB

  
  

6242 — 大电流低压 SMU

• 源范围：电压 ±6 V / ±5 A，电流 ±5 A / ±6 V

  
  

• 源分辨率：电压 10 μV，电流 1 nA

  
  

• 测量分辨率：电压 1 μV，电流 100 pA

  
  

• 基本精度：±0.02 %

  
  

• 最小脉冲宽度：50 μs

  
  

• 适用：功率器件、低阻抗大电流特性测试

  
  

• 接口：USB、GPIB

  
  

6540 / 6541 — 四通道紧凑型 SMU

• 通道数：4通道独立，每通道电压 ±10 V / ±500 mA（4通道合计最大 ±1 A）

  
  

• 源分辨率：电压 100 μV，电流 100 pA；测量分辨率电压 10 μV，电流 10 pA

  
  

• 基本精度：±0.02 %

  
  

• 最小脉冲宽度：50 μs

  
  

• 6540：无屏系统型；6541：带 4.3寸彩屏台式型

  
  

• 接口：USB 标配，6541 可选 GPIB/LAN

  
  

三、超高阻表 / 微电流表（Picoammeter / Electrometer）

5450 / 5451 — 5½位 超高阻 & 微电流表

• 显示位数：5½位

  
  

• 微电流量程：1 fA（0.001 pA）～ 19.9999 mA，最佳分辨率 1 fA

  
  

• 电阻量程：10 Ω ～ 3×10¹⁷ Ω（电压施加法）

  
  

• 内置直流电压源：±1000 V（5450）/ ±46 V（5451），分辨率 1 mV，最大 10 W

  
  

• 5450 支持 ±1000 Vpeak 浮地（Float）测量

  
  

• 采样速率：最高 1,000 rdgs/s

  
  

• 预设功能：体积电阻率/表面电阻率/皮安表/漏电流等一键调用

  
  

• 接口：USB、GPIB 标配，Handler I/F 标配

  
  

四、关键参数速览对照

• 7351E DMM：5½位 / DCV 1μV / ±0.01% / ~140 rdgs/s

  
  

• 7451A DMM：5½位 / DCV 1μV / 可变积分 / 5,000 rdgs/s

  
  

• 7461A DMM：6½位 / DCV 0.1μV / ±0.0035% / 20,000 rdgs/s

  
  

• 6240B SMU：±15V/±4A脉冲 / 1μV+100pA / ±0.02% / 50μs脉冲

  
  

• 6241A SMU：±32V/±500mA / 同上精度 / 线性扫描

  
  

• 6242 SMU：±6V/±5A / 同上精度 / 大电流低电压

  
  

• 5450 皮安表：1fA～3×10¹⁷Ω / ±1000V源 / 1fA分辨率