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更新时间:2026-06-25
浏览次数:40计量溯源链条:国家基准(约瑟夫森/量子电阻)→ 一等/二等标准 → ADCMT 作为传递标准/工作标准 → 被检器具(DMM、SMU、电子负载等)
ADCMT 仪器在溯源体系中承担两类角色:
传递标准(Reference Standard):7½位/8½位 DMM(7470/7481/7981+6901)及 6166 精密源,用于向上承接标准源向下校准工作级仪器。
工作标准(Working Standard):6½位 DMM(7461A/P)、SMU(6240B/6241A/6253)及 5450 皮安表,用于开展日常下级器具的周期检定/校准。
核心设备:7481(8½位 DMM,DCV 10nV 分辨率,年稳定 ±5ppm)或 7470(7½位),配合 6166 精密双极性源(±1200V/±12mA,电压精度 ±0.0035%)。7981 可选配可拆卸参考电压模块 6901(±2ppm/年),支持不停机自校准实现量值传递。
用途:作为传递标准校准 5½~6½位 DMM、数据采集卡、过程校准器等;验证 DCV/DCI/Ω 全量程线性度。
溯源方式:送计量院用 Josephson 阵列电压基准 + 量子 Hall 电阻标定,或采用可溯源 10V/10kΩ 标准源两点校准 ADCMT 内部自校准功能。
核心设备:7461A/P(6½位,DCV 0.1μV 分辨率,±0.0035%/年)或 7451A(5½位可变积分,5000rdgs/s),搭配 6241A SMU 或 6156 精密源作激励源。
用途:校准现场用 3½~5½位 DMM、工业万用表、温度变送器(7461P 支持 RTD)、面板表等。
校准项目覆盖:DCV(100mV~1000V)、ACV(1kHz正弦)、DCI(1mA~3A)、Ω(10Ω~100MΩ 含 4W),可用 SCPI 程控搭建半自动校准工作台。
核心设备:5450/5451 皮安表(1fA 分辨率,Rmax 2×10¹⁷Ω,内置 ±1000V/±46V 源),配合标准高阻盒与屏蔽测试夹具。
用途:校准/验证微电流源、静电计、漏电流测试仪;测量绝缘材料体积/表面电阻率并提供可溯源数据。
关键措施:三同轴屏蔽线缆、Guard 保护环布线、控湿防尘环境(RH<40%),消除表面漏电流影响量值准确性。
核心设备:6240B/6241A/6253 SMU(源精度 ±0.02%,测量 5½~6½位),6247C/G 支持高压(±250V)功率器件测试。
用途:作为激励-测量一体单元校准半导体参数分析仪、源表;对 MOSFET 阈值电压、二极管正向压降、漏电流进行可溯源特征化。
溯源方法:用 6166 精密源或 7481 DMM 交叉验证 SMU 的 VSIM/ISVM 输出值与测量值,建立不确定度预算。
环境与控制
温度 23±1℃,湿度 ≤60%RH 无凝露,远离强电磁场与气流。精密 DMM 预热 ≥60min(7481/7470 建议更长),SMU 预热 ≥30min。
校准周期与记录
传递标准(7481/6166):12个月,关键岗位 6~12个月视不确定度评估而定。
工作标准(7461A/6240B/5450):12个月。
保留原始校准证书、修正因子、扩展不确定度(k=2)及校准日期,满足 17025文件化要求。
不确定度预算要素
包含标准源不确定度、ADCMT 仪器重复性(短期噪声)、分辨率、线性度、温度系数(若超基准温)、接线/引线误差(四线 Kelvin 消除)、操作员读数偏差。建议按 JJF 1059.1编制完整不确定度报告。
程控自动化校准搭建
利用 SCPI 指令集(*RST → :SOUR… → :SENS… → :FETC?),通过 USB/GPIB/LAN 连接 PC + VISA/LabVIEW,编写自动扫描多点量程脚本,生成带电子签名的校准报告与允差判定。