在现代液晶面板(LCD)、有机发光二极管(OLED)等显示屏的制造过程中,真空环境是众多核心工艺环节的重要条件,从薄膜沉积(CVD,PVD)到干法刻蚀,都对真空系统的性能提出要求。
MIYUKI美幸辉面板厂用真空泵正是为满足这一苛刻需求而生的专业设备,以其洁净度、稳定的抽气性能和高可靠性,成为保障面板生产线连续、高效运行的“工艺基石”。

核心特点一:保障高良品率
面板制造对污染的控制达到了近乎严苛的程度,微小的油分子或金属粉尘都可能导致产品缺陷,造成巨大的经济损失。MIYUKI真空泵针对此需求,采用了先进的干式(无油)螺杆技术。泵腔内无需使用润滑油,从根源上杜绝了油蒸汽返流污染真空腔体的风险。同时,泵体材质与表面处理工艺均经过优化,具有极低的放气率和高耐腐蚀性,确保所提供的真空环境满足半导体级洁净标准,为面板的高良品率提供了坚实基础。
核心特点二:抽气性能稳定,支持连续生产
面板生产线是24小时连续运行的,任何非计划停机都会带来巨大损失。MIYUKI真空泵设计坚固,核心的螺杆转子经过精密动平衡校正,运行平稳,磨损低。这使得泵能够在高负荷下长时间保持稳定的抽气速度和极限真空度,性能衰减缓慢。其稳定性和耐久性,确保了关键工艺腔体真空条件的恒定,为大规模连续化生产提供了可靠保障。
核心特点三:高效节能,降低综合成本
面对巨大的能耗成本,MIYUKI真空泵融入了高效的节能设计。例如,采用先进的型线设计的螺杆转子,压缩效率高;配备智能控制系统,可根据实际工艺负载自动调节电机转速,在非满负荷工况下降低能耗。这种对能效的关注,帮助面板厂在确保工艺要求的同时,降低综合运营成本(COO),提升市场竞争力。
核心特点四:低振动噪音,维护简便
优良的机械设计使得MIYUKI真空泵运行时的振动和噪音水平极低,有助于维持洁净厂房的安静、稳定环境。同时,其模块化设计和长维护周期的特点,也使得日常检查与定期保养工作变得更为简便、快捷,进一步提升了设备的使用效率。
MIYUKI美幸辉面板厂用真空泵,以其洁净、稳定可靠、高效节能和低维护需求的突出特点,契合了现代平板显示制造业对真空系统的核心要求。它是保障先进工艺实现、提升产品良率、实现高效生产的战略性装备。