NICHIGI 日油技研工业新款 VL 真空示温标签正式推出

更新时间：2026-07-07

浏览次数：7

近日，NICHIGI 日油技研工业发布全新升级 VL 系列真空专用示温标签，针对真空镀膜、热处理、半导体蚀刻等低压工艺环境优化材料配方，解决传统测温耗材在真空腔体内释气、测温偏差、无法留存温度履历等常见问题，为精密真空制程提供轻量化无源温度管控方案。

真空制造工序对腔体洁净度、气体释放量有严格标准，常规示温产品内部基材、粘接层在低压高温环境容易释放挥发性气体，污染镀膜工件，影响成品良率。热电偶、有线传感设备需要开孔布线，改造流程复杂，狭小腔体、旋转工件等点位难以布置；红外测温仅能获取瞬时温度，设备升温峰值无法留存，工艺异常后缺少复盘依据。

全新 VL 系列真空示温标签采用低释气复合材质制作，适配 1Pa 至常压全区间工况，标签整体挥发物释放量控制在较低水平，不会对真空腔体内部工艺环境形成干扰。产品为四点分段不可逆显色设计，覆盖 40℃至 210℃多档位规格，单枚标签集成四个独立测温圆点，变色精度维持 ±2℃至 ±4℃区间，原色淡黄，达到对应阈值后转为黑色，变色状态不会随温度回落复原，长期留存腔体温度记录。

产品采用薄型聚酰亚胺基材，整体尺寸 8×20mm，圆点直径 2mm，背胶适配金属、陶瓷、硅片等多种腔体内部基材，贴附操作简单，无需改造设备结构。标签耐受真空环境下热辐射传热模式，腔体内各点位温差识别稳定，可布置在靶材、载具、工装夹具等各类隐蔽监测点位，填补有线测温设备的布置盲区。

本次新品配套完整标准化使用指导，日油技研技术团队同步梳理贴附、仓储、更换全流程规范。贴附前清理工件表面油污与脱模剂，在常压常温下完成粘贴，静置稳定后再送入真空腔体；仓储阶段全程避光密封存放，缩小温湿度波动带来的材质损耗；长时间连续生产的真空产线，按固定周期更换标签，降低长期高温低压带来的性能变化。

目前 VL 系列覆盖 VL-40、VL-80、VL-100、VL-180 等多款主流型号，适配半导体蚀刻、光学真空蒸镀、粉末冶金真空烧结、薄膜电池加工等行业。产线操作人员无需携带专业测温仪器，开腔检修时直接观察标签圆点变色情况，即可判断制程是否出现局部超温，变色标签可取下归档，作为工艺调试、品质异常复盘的参考凭证。

多家半导体、光学镀膜企业完成样品实测，现场技术人员表示，VL 真空示温标签部署成本更低，不会引入腔体杂质，多点同步监测的方式便于优化真空炉温度场分布，对稳定成品加工品质形成辅助作用。

此次 VL 系列新品推出，日油技研工况示温产品矩阵。品牌后续将根据不同真空工艺的温度、真空度需求拓展细分规格，同步面向制造企业提供工况选型、现场实操培训配套服务，持续优化低压精密制程的温度追溯管控体系