USHIO 牛尾携全系列 UV 光源亮相光电展，现场演示设备实操与保养

USHIO牛尾携全系列UV光源亮相光电展，现场演示设备实操与保养

在近期举办的国际光电展览会上，的光源解决方案提供商USHIO（牛尾）携其全系列UV光源产品矩阵亮相，涵盖从半导体光刻、先进封装到精密检测与固化工艺的完整应用链条。展会现场，USHIO不仅展示了其最新的光源技术成果，更设立了设备实操与保养演示专区，由专业技术团队为参观者详解光源系统的正确使用与维护要点，展现其从产品创新到全生命周期服务的综合实力。

全系列UV光源矩阵亮相，覆盖多元精密制程

USHIO展台的核心看点在于其丰富的产品线布局。针对半导体与先进封装领域，USHIO重点展示了全场投影光刻机UX-4系列、数字光刻系统DLT系列以及面向IC封装基板的UX-5系列。其中，UX-4系列最新机型UX-45114SC已于2026年Q1开启订单，该产品支持φ6/φ8英寸大晶圆，分辨率达到L/S=2.8μm，针对功率半导体、MEMS及光半导体的高性能化需求而设计。

在UV光源耗材与检测配件方面，USHIO展出了多款适用于曝光制程的超高压紫外线灯管，如UVL系列产品。这些灯管有效利用436nm、405nm、365nm三种紫外线波长，具有寿命长、辐照度稳定的特点，其弧光尺寸极接近点光源，便于在光学系统中实现均匀的照度分布。同时，展台还陈列了专为405nm紫光工艺和365nm工业UV固化设计的UVD-S405、UVD-S365等紫外受光探头，可与UIT-250主机配套使用，为精密固化与曝光工艺提供精准的检测保障。

现场实操演示，聚焦设备稳定运行与保养

为帮助用户切实延长光源设备寿命、保障产线稳定运行，USHIO在展会现场特别设置了设备实操与保养演示环节。技术团队以展出的氙灯及UV灯产品为例，详细讲解了安装与使用的核心规范。

演示重点包括：强调安装时必须严格遵循垂直点灯方式以保证电弧居中，严禁用手直接接触石英玻壳以避免油污残留导致高温炸裂。在保养层面，专家现场演示了灯室、反光杯及光路镜片的清洁流程，指出定期清洁可有效防止光衰和杂散光增加。此外，还特别提醒参观者注意电源稳定性与散热系统维护——电源波动会直接导致光强漂移，而良好的风冷或水冷系统是防止灯体过热、光谱偏移的关键。

针对光刻检测设备常用的高精度光源，如UXL系列氙灯，技术团队还分享了寿命管理经验：当出现光输出持续下降、光斑异常闪烁或电弧偏移时，通常表明灯管已接近寿命末期，应及时更换并建立使用台账，以避免在生产或检测过程中突发故障停机。同时，对于配合使用的光量计UIT-250及各类探头，现场也提示了定期校准（工业产线建议每6个月一次）以及避免高温、潮湿、腐蚀性气体环境存放的重要性。

以技术展示与实操指导，赋能客户精益生产

通过此次光电展，USHIO不仅向业界展示了其从高精度光源、光刻系统到检测探头、维护方案的完整技术闭环，更通过面对面的实操演示与保养指导，传递了“用好光、管好光"的深层服务理念。随着半导体、先进封装及精密制造对光源稳定性与寿命要求的日益提升，USHIO正以扎实的产品技术与的现场支持能力，助力客户在提升生产效率的同时，降低设备维护成本与意外停机风险，进一步巩固其作为行业“隐形的技术地位。