爱发科多款真空设备更新迭代，产线效率再突破

2026‑08‑24近期，ULVAC 爱发科完成干式真空泵、氦质谱检漏仪等多款核心真空设备的迭代升级，围绕抽气性能、能耗控制、抗污染能力、检测效率多个维度优化，面向半导体、新能源锂电、真空镀膜等行业，为量产产线带来整套真空解决方案。

在真空获得环节，新一代干式真空泵优化螺杆结构与腔体涂层，强化粉尘、腐蚀性溶剂气体耐受能力，降低卡泵、腔体结垢故障概率。搭载智能变频调控，可依据工艺负载动态调节输出功率，24 小时连续运行工况下综合能耗得到有效下降，抽气周期缩短，帮助大型腔体更快抵达工艺真空，直接提升产线节拍。同时设备延长维护周期，减少拆机保养带来的停机时间。

配套的新一代氦质谱检漏仪也同步完成性能升级。优化预抽链路，缩短检测响应时间，新增本底干扰抑制能力，降低车间环境氦气造成的误判，适配自动化流水线在线检测。设备兼容多种检漏模式，大小工件切换调试更加简便，保障批量产品气密性检测的稳定性。

系列设备强化互联适配能力，可对接产线控制系统，实现运行状态、故障信息的数据输出，便于工厂开展设备状态管理。整套迭代产品兼顾洁净无油、稳定运行、运维成本可控的诉求，适配半导体制程、锂电极片处理、器件镀膜、精密零部件检漏等场景，助力制造企业在保障工艺品质的基础上，进一步释放产线整体生产效率。