光刻产线良率提升，这家半导体企业为何选择牛尾光源？

在半导体光刻产线中，光源的稳定性与能耗表现直接影响芯片良率与生产成本。国内某功率半导体制造企业在产线升级时，面临一个关键抉择：如何在保障曝光精度的同时，降低光源系统的运营成本。

良率与成本的双重压力

该企业主要生产功率半导体器件与MEMS传感器，光刻工序使用多台步进式曝光设备。此前使用传统超高压汞灯时，两个问题长期困扰产线：一是待机状态下光源仍需维持高功率输出，电费与冷却成本居高不下；二是灯管寿命有限，频繁更换不仅增加耗材支出，更因换灯停机影响生产连续性。

牛尾的解决方案

北崎国际贸易（北京）有限公司作为牛尾（USHIO）华北地区重要合作伙伴，向该企业推荐了配备“Full/Half亮灯方式"技术的超高压汞灯产品。

能耗大幅削减：该技术可实现曝光时输入电力100%、待机时降至50%的双阶段切换，使耗电量和二氧化碳排放量较传统方式削减约40%。以使用20支25kW灯管的生产线为例，每年可削减约204万kWh耗电量，CO₂排放减少约780吨。

稳定输出保障良率：牛尾超高压汞灯采用弧径接近点光源的设计，光学系统聚光效率高，照度分布均匀，有效减少曝光过程中的图案偏差与线宽不均匀问题。

长寿命减少停机：该系列灯管平均寿命达600小时以上，配合待机功率降低技术，灯管实际使用周期进一步延长，换灯频次显著降低。

应用效果

该企业在部分产线试用后，光源系统能耗明显下降，待机时段电力消耗较此前减少约40%。灯管更换频次降低，因换灯导致的非计划停机时间相应缩短。曝光图案的线宽均匀性得到改善，批次一致性提升。该企业已将牛尾光源纳入后续产线扩建的采购清单。

北崎国际贸易（北京）有限公司作为牛尾华北地区重要合作伙伴，为半导体制造、液晶显示及PCB企业提供从光源选型、应用方案设计到售后保障的本地化服务。