半导体工厂药液溶氧监测：饭岛 DO 仪成功投入生产

近期，北崎国际贸易（北京）有限公司作为饭岛电子华北地区重要合作伙伴，在服务国内某半导体材料企业的过程中，成功协助其完成了药液溶氧监测方案的部署。该企业引入饭岛电子溶氧仪后，实现了对清洗液及蚀刻液中溶解氧浓度的连续监测，工艺稳定性获得明显改善。

半导体药液溶氧监测的严苛要求

在半导体制造过程中，清洗液、蚀刻液中的溶解氧浓度直接影响药液活性与工艺效果。溶氧过高会导致药液氧化分解，影响蚀刻均匀性和清洗效果；溶氧过低则可能影响某些化学反应的正常进行。该企业此前采用实验室取样检测方式，数据滞后且无法反映药液在管路中的实时状态，工艺调整缺乏即时依据。

饭岛溶氧仪的适配能力

针对上述需求，北崎国际贸易向该企业推荐了饭岛电子溶氧仪方案。该设备采用隔膜式原电池传感器，可实现溶解氧浓度的连续在线监测，响应速度快，适配半导体药液管路的实时检测需求。

设备支持微量样品测量，取样量少，适配半导体工厂对药液消耗的控制要求。传感器维护简便，可定期更换隔膜与电解液，保障长期运行的数据稳定性。

在部署过程中，北崎国际贸易技术团队协助客户完成了溶氧仪与药液管路的集成安装，并根据不同药液特性匹配了适配的传感器型号与校准方案。

应用效果

该企业在清洗液与蚀刻液管路上分别部署饭岛溶氧仪后，药液中的溶解氧浓度实现了实时连续监测。工艺人员可根据溶氧数据及时调整氮气鼓泡或真空脱氧操作，药液活性稳定性提升，蚀刻均匀性改善。该企业已将饭岛溶氧仪纳入半导体药液管路的标准监测配置。

北崎国际贸易（北京）有限公司作为饭岛电子华北地区重要合作伙伴，为半导体材料、电子制造及精细化工企业提供从溶氧仪选型、管路集成方案设计到售后保障的本地化服务