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USHIO 牛尾准分子灯新品发布,表面处理迎来新方案

更新时间:2026-10-08      浏览次数:8

近期,北崎国际贸易(北京)有限公司作为牛尾(USHIO)华北地区重要合作伙伴,正式推出USHIO新一代准分子灯表面处理设备。 该产品面向半导体晶圆清洗、显示面板制造及精密电子基板活化等场景,为表面处理工序提供了更环保、更温和的新选择,现已面向国内市场供应。

传统表面处理的现实困扰

在半导体与显示制造中,基材表面的清洁与活化直接影响后续工序的良率。传统湿法清洗需要大量化学药剂,存在残留风险和废液处理成本;等离子处理虽然不用药剂,但可能对薄膜、晶圆等敏感表面造成损伤。制造企业一直在寻找既干净又不伤基材的处理方式。

新方案带来的改变

USHIO此次推出的准分子灯设备,以172nm真空紫外光为核心,为表面处理提供了新的工艺路径。

无需化学药剂:该设备通过光照直接分解表面的有机污染物,全程不使用化学药剂,减少了废液处理环节,也避免了药剂残留对后续工序的影响。

不伤敏感基材:处理过程不产生热量,基材不会承受热应力,特别适合薄膜、晶圆等对温度敏感的材料。

提升表面附着力:除了清洁功能,该设备还能改善基材表面的亲水性,提升后续涂布、印刷和粘接的效果,有助于提高产品良率。

产品形态与适用场景

该方案提供固定式和在线式两种产品形态,固定式适合晶圆、PCB及玻璃基板的工位处理,在线式则可集成到卷材与流水线生产中。其中最新推出的紧凑型号重量仅13kg,支持单人操作,设备体积较传统型号明显缩减,便于在现有产线上加装或改造。

北崎国际贸易(北京)有限公司作为牛尾华北地区重要合作伙伴,为半导体、显示面板及精密电子制造企业提供从设备选型、工艺适配到售后保障的本地化服务。


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