日本东丽半导体用氧含量分析仪最多可同时测量 8 个点可以显示从ppm级到100%的各种浓度。非常适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。传感器直接插入（NW 法兰 16/25/40 用于真空）
产品型号：LC-860厂商性质：经销商更新时间：2024-09-25访 问 量：228
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日本东丽半导体用氧含量分析仪介绍：
血YANG定量计半导体、LCD 和电子元件相关应用用于半导体、电子元件的氧分析仪
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
血YANG仪 MS-500
最多可同时测量 8 个点
可以显示从ppm级到100%的各种浓度。
非常适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。
传感器直接插入（NW 法兰 16/25/40 用于真空）
坚固耐用的传感器，带有特殊涂层，更耐用
日本东丽半导体用氧含量分析仪MS-500 规格：
| 测量原理 | 氧化锆阴影电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 分体式（换能器：壁挂式、传感器：直插式） | ||
| 显示方式 | 数字 4 位显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自动柜员机 自动量程 | ||
| 重复性 | ± 0.5%FS以下 0-1%范围或更高 ±1%FS或小于0.1ppm ± 小于 0-1% 范围 0-1ppm，ATM范围超出浓度保证范围 | ||
| 测量点数 | 1~8 | ||
| 样气条件 | 压力 | 10-3~200KPa（绝对压力） | |
| 流量 | 0.5~5,000mL/min或0mL/min（自发扩散状态的测量） | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0~100°摄氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蚀性气体（氟化气体、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、易燃成分（包括气体）、油或水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机输出 | 仅传输输出 | ||
| 传输功率 | RS-232C接口 | ||
| 报警输出 | 没有 | ||
| 预热时间 | 6分钟内 | ||
| 大小 | MS-500 （控制器） | 92 （W） × 44 （H） × 120 （D） （不包括突起部分） | |
| MS-510 （转换器） | 100 （W） × 40 （H） × 88 （D） （不包括突起部分） | ||
| 传感器单元 | SD16NW系列 | 全长：100mm（感应部分Φ11×39、机身部分Φ40×51） | |
| SD25NW系列 | 全长：100mm（感应部分Φ11×42、机身部分Φ40×48） | ||
| SD40NW系列 | 全长：100mm（感应部分Φ11×41，机身部分Φ40×49） | ||
| 质量 | MS-500 （控制器） | 约0.6Kg | |
| MS-510 （变压器） | 约0.5kg | ||
| 传感器单元 | SD16NW系列 | 约0.2Kg | |
| SD25NW系列 | 约0.2Kg | ||
| SD40NW系列 | 约0.35Kg | ||
| 外部连接 | 任何真空法兰（NW16、25、40） | ||
| 使用的电源 | 24VDC±10% | ||
血YANG仪 LC-450A、LC-450D
可以显示
从宽浓度范围内测量的ppm水平到100%的广泛浓度范围。
提高传感器耐久性氧
传感器经过特殊处理，可提高耐久性。
交流宽电源 AC100~240VAC （LC-450A）
*LC-450D 是 DC24V 驱动
结构紧凑，易于安装，
深度甚至比我们的传统型号更短，而且不占用太多空间。
符合RoHS指令的产品
CE标志自我声明的物品
EN61010-1：2002，EN61326：+A3：2003
LC-450A 规格：
| 测量原理 | 氧化锆阴影电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 桌面/面板安装 | ||
| 显示方式 | 数字 4 位显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自动柜员机自动量程 | ||
| 重复性 | ±在1%FS0-1ppm以内，大气压范围超出浓度保证范围 | ||
| 取样方式 | 内置泵连续抽吸 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压小于30KPa | |
| 流量 | 1,000~2,000毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0~50°摄氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蚀性气体（氟化气体、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、易燃成分（包括气体）、油或水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机 输出 | 氧气浓度输出 | 4-20 mA 或 0-20 mA 开关（可选 0-10 V） 隔离、负载电阻 550 Ω以下 记录仪输出范围为满量程，输出与氧气浓度成线性关系 | |
| 输出范围 | 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自动/固定范围 | ||
| 传输功率 | RS-232C接口 | ||
| 报警输出 | FAIL（设备错误） | 1 分 | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因 设备异常导致触点闭合（触点操作可更改） |
| ALM（浓度报警） | 2 分 （H/L） | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 发生报警时 触点闭合（触点操作可更改） | |
| RDY（预热信号） | 1 分 | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下
| |
| MRK（范围标记）输出 | 2 积分 | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 预热时间 | 5分钟内 | ||
| 大小 | 物质 | 210 （W） × 134 （H） × 300 （D） mm （不含突起部分） | |
| 质量 | 约6kg | ||
| 气体 连接端口 | 入口 | RC1/4型 | |
| 旁路输出 | RC1/4型 | ||
| 出口 | RC1/4型 | ||
| 使用的电源 | 100~240VAC， 50VA （稳态： 35VA） 50Hz/60Hz | ||
| 测量原理 | 氧化锆阴影电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 桌面/面板安装 | ||
| 显示方式 | 数字 4 位显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自动柜员机自动量程 | ||
| 重复性 | ±在1%FS0-1ppm以内，大气压范围超出浓度保证范围 | ||
| 取样方式 | 内置泵连续抽吸 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压小于30KPa | |
| 流量 | 1,000~2,000毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0~50°摄氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蚀性气体（氟化气体、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、易燃成分（包括气体）、油或水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机 输出 | 氧气浓度输出 | 0-10VDC，隔离，负载电阻600kΩ以上 （可选：4-20mADC，隔离，负载电阻550 Ω以下） 记录仪输出范围为满量程，输出与氧气浓度成线性关系 | |
| 输出范围 | 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自动/固定范围 | ||
| 传输功率 | RS-232C接口 | ||
| 报警输出 | FAIL（设备错误） | 1 分 | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因 设备异常导致触点闭合（触点操作可更改） |
| ALM（浓度报警） | 2 分 （L/LL） | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 发生报警时 触点闭合（触点操作可更改） | |
| RDY（预热信号） | 1 分 | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 预热操作时 触点闭合（触点操作可更改）
| |
| MRK（范围标记）输出 | 2 积分 | 无电压触点，触点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 预热时间 | 5分钟内 | ||
| 大小 | 物质 | 240 （W） × 134 （H） × 210 （D） mm （不含突起部分） | |
| 质量 | 约5kg | ||
| 气体 连接端口 | 入口 | RC1/8型 | |
| 旁路输出 | RC1/8型 | ||
| 出口 | RC1/8型 | ||
| 使用的电源 | 24VDC±10%， 1.25A （30VA， 稳态） | ||
血YANG仪LC-860
低浓度测量：能够
测量从ppb级到100%
易于操作：使用单独的按键即可轻松操作
吹扫功能比较
气体进一步稳定，可以进行更精确的测量（仅适用于具有吹扫功能的规格）
高可靠性传感器：
传感器内部也可进行防劣化处理（可选）
LC-860 规格：
| 测量原理 | 氧化锆阴影电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 桌面/面板安装 | ||
| 显示方式 | 数字 6 位显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM 自动/固定范围 | ||
| 重复性 | ± 氧气浓度小于 1 ppm和0-1 ppm，大气压范围在1%FS以内均超出浓度保证范围。 | ||
| 取样方式 | 内置泵连续抽吸 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压小于30KPa | |
| 流量 | ~1,500毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0~50°摄氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蚀性气体（氟化气体、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、易燃成分（包括气体）、油或水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机 输出 | 氧气浓度输出 | 4-20mA/0-10V 4-20mA：隔离、负载电阻 600 Ω以下 0-10V：绝缘，负载电阻 500 Ω以上 记录仪输出范围为满量程，输出与氧气浓度呈线性关系 | |
| 输出范围 | 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可选 4 个量程自动/固定量程 | ||
| 传输功率 | RS-232C接口 | ||
| 报警输出 | FAIL（设备错误） | 1 分 | 无电压触点，触点容量24VDC/AC以下，0.1A以下 因 设备异常导致触点闭合（触点操作可更改） |
| ALM（浓度报警） | 2 积分 | 无电压触点，触点容量24VDC/AC以下，0.1A以下 发生报警时 触点闭合（触点操作可更改） | |
| RDY（预热信号） | 1 分 | 无电压触点，触点容量24VDC/AC以下，0.5A以下 预热操作时 触点闭合（触点操作可更改）
| |
| MRK（范围标记）输出 | 3分 | 无电压触点，触点容量24VDC/AC以下，0.1A以下 | |
| 预热时间 | 20分钟内 | ||
| 大小 | 物质 | 288 （W） × 144 （H） × 400 （D） mm （不包括突起部分） | |
| 质量 | 约10kg | ||
| 气体 连接端口 | 入口 | RC1/8型 | |
| 旁路输出 | RC1/8型 | ||
| 出口 | RC1/4型 | ||
| 使用的电源 | 100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz | ||
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