PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类技术文章/ Technical Articles
TXRF310Fab系列全内反射X射线荧光光谱仪分析痕量从轻元素Na到重元素U的污染物元素采用转子式高功率X射线发生器和新设计的入射X射线单色器。过渡金属LLD10采用直接TXRF测量方法8原子/厘米2达到水平。在封闭X射线管测量时间的1/3内即可实现相同的精度,从而实现高通量。询价询问有关产品的问题=thumbnailOffset&&index总结长处规范事件描述TXRF310Fab1个靶标、3个光束系统这是一种方法,它使用三种类型的光谱晶体来提取被测元素的最佳单色X射线束...
TXRF3760系列全内反射X射线荧光光谱仪对晶圆表面的污染进行无损、非接触式和高灵敏度分析转子式高功率X射线发生器和新设计的入射X射线单色器过渡金属LLD10采用直接TXRF测量方法8原子/厘米2达到水平。在封闭X射线管测量时间的1/3内即可实现相同的精度,从而实现高通量。询价询问有关产品的问题=thumbnailOffset&&index总结长处规范事件TXRF3760概述1个靶标、3个光束系统这是一种方法,它使用三种类型的光谱晶体来提取被测元素的最佳单色X射线束,并将其...
WaferX310系列用于薄膜评估的X射线荧光光谱仪波长色散X射线荧光光谱仪(WD-XRF)可以无损、非接触式方式同时分析300mm和200mm晶圆上各种薄膜的厚度和成分。这是一种波长色散X射线荧光光谱仪(WD-XRF),可以无损、非接触地同时分析300mm和200mm晶圆上各种薄膜的厚度和成分。它与GEM300兼容,并支持300mmFab的在线规格。XYθZ驱动式样品台(方法)可准确分析各种金属膜,避免了衍射线的影响。使用4kW高功率X射线管可以测量痕量元素。此外,通过安装...
晶圆/磁盘分析仪3650用于薄膜评估的X射线荧光光谱仪对各种薄膜的厚度和成分进行同步、无损、非接触分析这是一种波长色散X射线荧光光谱仪(WD-XRF),可以以非破坏性、非接触的方式同时分析最大~200mm晶圆上各种薄膜的厚度和成分。XYθZ驱动式样品台(方法)可准确分析各种金属膜,避免了衍射线的影响。使用4kW高功率X射线管可对超轻元素进行高精度分析,例如BPSG薄膜的痕量元素测量和硼分析。它还与C-to-C传输机器人(可选)兼容。它配备了AutoCal(全自动日常检查和强度...
AZX400用于薄膜评估的X射线荧光光谱仪将Be~U中的所有元素(包括B、C、N和O)包含在一个单元中,这些元素是重要的半导体材料波长色散X射线荧光(WDX)光谱仪的**模型WDX具有高信噪比和高分辨率,使用可实现比能量色散X射线荧光(EDX)仪器更准确的分析。高功率X射线管和专用于超轻元素的光谱晶体可实现超轻元素测量,例如B、C、N和O,这是EDX无法实现的。此外,由于Si的影响,难以用EDX分析的Al超薄膜可以通过高分辨率的WDX清晰分离。=thumbnailOffset...
高精度CNC三坐标测量机STRATO系列初项高达1μm以内高精度下,实现高速、高加速度驱动的高速扫描。产品特点与优势STRATO-Apex系列是高精度CNC三坐标测量机,该系列通过优化本体结构、导轨构造等达到高刚性,使设备在拥有高精度的同时,更实现了高速、高加速度驱动。●STRATO-Apex系列检测各轴位置的标尺搭载了与LEGEX系列同等级别的高精度标尺(自社研发),具有很高的检测功能和超高精度控制功能,通过其他高速控制程序等技术实现高精度·高速度测量。●标配温度实时补偿功...
CRYSTA-ApexV标准CNC型三坐标测量机产品特点与优势CRYSTA-ApexV系列是追求高精度、高速度、多样性的新一代CNC三坐标测量机,为实现利用IoT深度生产管理和品质管理信息的智能工厂提供强力支持。CRYSTA-ApexV系列采用彰显先进性和创造性的焕新设计,提供可应对小型到大型工件测量的丰富产品阵容。CRYSTA-ApexV系列可以确定3D形状的测量路径,以自由的测量路径来测量曲面、轮廓等复杂形状的工件。另外,通过实时修正工件和公称值的偏差引起的轨迹误差,可实...
QVHYPER302/404/606配备高分辨力、高精度标尺的高精度机型。产品特点与优势QVHYPERPro系列是配备高分辨力、高精度标尺的高精度型影像测量机。●配备可瞬间对焦工件的跟踪自动对焦装置的机型,可大幅提高测量效率。●可配备STREAM功能,通过XY主体驱动与频闪照明同步,在不关停工作台的状态下进行无停顿影像测量,大大缩短测量时间。●备有高通用性的白色LED照明机型和边缘检测能力更强的RGB彩色LED照明机型。●标配有使用测量机主机温度传感器和工件温度传感器的自动温...
ULTRAQUICKVISION超高精度CNC影像测量机。产品特点与优势ULTRAQUICKVISION是实现测量精度E1XY(0.25+2L/1000)μm的高精度CNC影像测量机。●X,Y,Z各轴采用本公司开发的高分辨力(0.01μm)、高精度的低热膨胀玻璃标尺。●Y轴采用高刚性固定桥式移动工作台设计,底座采用具热稳定性强的岩石平板。●标配有使用测量机主机温度传感器和工件温度传感器的自动温度补偿功能。工作原理影像仪是利用表面光.轮廓光及同轴光照明后,经过变焦距物镜通过摄像...
搭载非接触式位移传感器,实现微细阶差或3D形状测量的复合型影像测量机。产品特点与优势QVH4Pro是配备非接触式位移传感器、可利用扫描功能测量细微阶差和3D形状的复合型测量机。·配备波长共焦方式的非接触位移传感器(色差点传感器)。即便是反射率不同的材质也可进行连续测·位移传感器采用LED光源,利用自动调光功能,即便是反射率不同的材质也可进行连续测量。一、影像测量仪是采用非接触式的光学测量,其主要的结构部件有CCD、光栅尺、伺服电机、光源系统:1.CCD:CCD是一种半导体器件...