日本大阪真空OSAKA涡轮分子泵TG1400F北崎热卖

TG1400F

■ 任何方向

■ 紧凑尺寸

■ 节能

■ 快速启动

■ 快速关闭并用煤气排气

■ 耐久的气流冲击结构

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

应用

■ 半导体生产

■ 电子枪排气，电离源排气

■ FPD制造

■ 表面处理，表面改性

■ 各种电子元件的制造

■ 分析、测试设备

■ 灯具生产，光学元件生产

■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究

■ 热处理

■ 研发

*如果排放腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M系列或TG系列。

• 规格

• 尺寸

• 性能曲线

• 控制器

*1：使用500升/分钟的备用真空泵时。

[环境温度使用]

确保达到压力的环境温度范围是10-23°C。允许的环境温度为风冷类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。冷却水的最高温度（保证最终压力）为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。

[对应气体]

一些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。