日本大阪真空OSAKA涡轮分子泵TG2400F北崎热卖

TG2400F

■ 任何方向

■ 紧凑尺寸

■ 节能

■ 快速启动

■ 快速关闭并用煤气排气

■ 耐久的气流冲击结构

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 认证安全标准NRTL / SEMI-S2 / CE

应用

■ 半导体生产

■ 电子枪排气，电离源排气

■ FPD制造

■ 表面处理，表面改性

■ 各种电子元件的制造

■ 分析、测试设备

■ 灯具生产，光学元件生产

■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究

■ 热处理

■ 研发

*如果排放腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M系列或TG系列。

• 规格

Model

TG2400F

TG2400F-40

Inlet flange

VG250/ISO-B250

Volume flow rate

N2 (L/s)

2400

N(with protective screen)

(L/s)

2300

H2 (L/s)

1100

Max. compression ratio

N2

1×108

H2

1.4×103

Base pressure

(Pa/Torr)

<1×10-6/<7.5×10-9

Max. throughput※1※2

(sccm)

900

1500

Startup time

(min)

5-7

Shutdown time

(min)

15-18

Max. backing pressure

(Pa/Torr)

200/1.5

Recommended backing

vacuum pump

(L/min)

≧500

Position

Any orientation

Weight (kg)

Air cooling

Water cooling

45

47

Controller

TC2403

TC2403-10※3

*1：使用1000升/分钟的后备真空泵时。
*2：根据电源型号不同。
*3 ： TG2400F-40

[环境温度使用]

确保达到压力的环境温度范围是10-23°C。允许的环境温度为风冷类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。冷却水的最高温度（保证最终压力）为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。

[对应气体]

一些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。