ULVAC 爱发科真空计如何选，量程匹配才是核心

很多采购只看 “可以测很宽范围"，忽略有效量程区间。单只真空计不会全量程精度一致，超出有效区间，读数漂移、误差放大，甚至直接烧毁规管。量程匹配是选型第一要素，再叠加气体介质、污染、通讯接口综合判断。

一、先分清各类规管有效测量区间（爱发科主流）

1. 皮拉尼规（SWP‑16‑N / GP 系列）有效区间：5×10⁻²Pa～1×10⁵Pa（大气压），负责粗抽、低真空监测日本爱发科...。

短板：低于 0.05Pa 之后读数失效；读数受气体种类影响，氮气标定，水汽、有机溶剂会带来偏差。

2. 热阴极电离规（SH2‑1 / ST200）有效区间：1×10⁻⁵Pa～10Pa，负责高真空；搭配皮拉尼复合组件，可拓展到大气压。

短板：压力高于 10Pa，灯丝容易烧断；严禁直接暴露大气，必须做联锁保护。

3. 冷阴极电离规 SC1有效区间：5×10⁻⁵Pa～1Pa，无灯丝，耐震动，适合连续高真空监测。

短板：压力过高不易起辉；大量油蒸汽、粉尘会造成放电异常，读数漂移。

4. 复合真空计 G‑TRAN SH200皮拉尼 + 电离规组合，覆盖 10⁵Pa～5×10⁻⁸Pa，抽气全程从大气到高真空连续读数，适合镀膜、真空炉整套系统ULVAC SHOW...。

关键认知：标称全范围≠有效精度区间，工艺工作压力，尽量落在规管有效量程中间段，不要卡在量程边界。

二、选型第一步：锁定工艺实际工作压力，不是极限真空

1. 区分三个压力：大气压、粗抽压力、工艺工作真空、系统极限真空。例：设备极限可以到 1×10⁻⁴Pa，实际工艺稳定运行在 1×10⁻²Pa，就以 1×10⁻²Pa 作为选型基准。

2. 单只规管无法覆盖 “大气压→超高真空" 完整区间。

• 只做粗抽、真空干燥：皮拉尼足够。

• 需要同时监测粗抽过程 + 高真空工艺：选用复合真空计（皮拉尼 + 电离），不要单用一只电离规。

坑点：单用热阴极电离规，开机抽大气阶段，会直接烧毁灯丝。

三、量程匹配高频踩坑

1. 用高真空电离规直接测粗真空开机腔体是大气压，电离规未做互锁，灯丝瞬间过载烧损，维修成本高。

解决：配置阀门互锁，压力降到 10Pa 以内，电离规才允许启动。

2. 皮拉尼规用来监测高真空压力低于 0.05Pa，皮拉尼读数乱跳，无法判断真实真空，很多实验室误把皮拉尼读数当成高真空指标。

3. 盲目追求 “宽量程一体机"复合计虽然覆盖范围大，但皮拉尼段、电离段各自有独立有效区间；如果工艺长期固定某一段压力，分开选用单功能规管，成本更低、稳定性更好。

四、除量程之外，不能忽略的选型条件

1、被测气体介质

• 空气、氮气：常规规管即可；

• 大量有机溶剂、油雾：热阴极灯丝容易被污染，优先冷阴极 SC1，或者增加前置挡板、冷阱；

• 腐蚀性气体：确认规管材质，普通玻璃规不适用，优先金属规管。

提示：皮拉尼属于热传导原理，气体种类改变，读数会产生偏移，需要做气体修正。

2、输出与通讯需求

• 现场面板显示：选带本地显示单元；

• 接入 PLC：0‑10V 模拟输出；

• 产线自动化：RS485、EtherCAT 总线型号（ST200‑R/E、SH200‑E）。

3、安装接口规格

确认 KF16/KF25/ICF 法兰，和真空腔体接口匹配，避免到货无法装配。

4、抗污染与维护

• 镀膜、溅射工况：优先金属规管 ST200，规避玻璃规管碎裂风险，灯丝具备损耗预警；

• 粉尘多的工况，规管入口加装过滤网，延缓污染漂移。

五、快速选型核对步骤

1. 明确工艺工作压力，而不是设备铭牌极限真空。

2. 判断压力区间：粗真空 / 中真空 / 高真空，选定对应原理规管。

3. 抽气需要从大气到高真空全程监测，选用复合真空计，并且配置压力互锁保护电离规。

4. 梳理被抽介质：溶剂、油蒸汽、腐蚀性气体，评估是否需要冷阱、挡板。

5. 确认法兰接口、输出通讯类型。

6. 评估耗材更换成本：灯丝、规管属于消耗件。

总结：真空计不是量程越宽越好，工艺压力落在规管有效量程中段，读数准、寿命长；强行在量程边界使用，漂移、损坏故障会频繁出现。