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适配多介质工况,SMC 新一代热式 MEMS 流量传感产品

更新时间:2026-07-28      浏览次数:22
2026 年 07 月 28 日
近日,SMC 全新一代热式 MEMS 流量传感产品正式面市,产品针对半导体、精密自动化、热处理产线多气体混用的生产痛点,依托自研微机电芯片与多介质补偿算法,可兼容多种工业洁净气体,适配复杂温湿度、微量流量、狭小安装空间等多元工况。
该系列采用恒温差热式检测架构,芯片无叶轮、弹簧等机械部件,不易被介质杂质卡滞。设备内置空气、氮气、氩气、二氧化碳等多种气体转换系数,更换介质仅需简单参数设置,即可维持稳定测量精度。
针对恶劣工况,产品流体腔体采用无润滑脂结构,内部流道优化防积液设计,可耐受微量冷凝水汽与轻微粉尘。传感器量程比达 100:1,毫秒级响应速度,兼顾微量保护气与大流量供气监测需求。
同时,产品机身轻量化,支持多种安装方式,搭载数字化信号输出,可对接车间中控系统。业内人士表示,这款流量传感器解决了传统设备介质适配单一、数值漂移的问题,将有效提升多介质产线流量监测稳定性,降低设备运维成本。



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