MFC专用电源PS该系列产品是质量流量控制器、质量流量计的±15V专用电源，可最多提供多达9台MFC/MFM同时使用。该电源支持的电压范围为AC85~240V,也可以通过转接质量流量器的设定信号、输出信号及阀门启闭信号进行外部控制。用于3个MFC的PS-203M电源流量设定信号和流量输出信号通过PS系列从PLC等上级设备通过PS系列电源，将流量设定信号、流量输出信号输入到质量流量控制器，PS系列提供±15V电源。数字通讯对于使用PC接口（如LabV...

MFC用电源设定表示器RP-310该产品是一款适用于质量流量控制器和质量流量计的一体化产品。功能包括电源输入、流量显示及设定，是进行流量控制所需的独立设备。您可以根据F.S.更改显示值。除了显示流量值（瞬时）外，还可以显示累积值。RP-310一台质量流量控制器和一台RP-310通过专用电缆连接，质量流量控制器由RP-310模拟信号控制。通过PLC(可编程逻辑控制器)等上级设备，借由RP-310，输入质量流量控制器的设定信号和输出信号，并将其显示在RP-310上。规格表电源AC...

电磁控制阀小型汽化器VU-430搭载液体喷嘴和载气喷嘴的双流体喷嘴结构高效率汽化器。液体喷嘴和载气喷嘴（0.05~4SLM）的双流体喷嘴在汽化室前汇合，以精细地喷洒液体。被微小雾化的液体可以通过辐射热被高效汽化。汽化室顶部的液体控制阀通过接收液体质量流量计(LM-3000L)的流量信号来调节阀门开度。通过控制流量，可以实现稳定的汽化供给。高效率汽化器VU-430特点高效率汽化维护成本低汽化室附近搭载液体流量控制阀使用范例低蒸气压材料的汽化该汽化器搭载最高温度为200℃的耐热结...

光刻胶溶液和SOG中的颗粒可以测量0.15μm以上的颗粒可连接到多点监控系统规范光学系统方式横向散射法光源二极管激光器（波长830nm，额定功率200mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分类0.15μm~0.5μm范围内的10个级别运输：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm或更高的4个级别额定流量10毫升/分钟最大颗粒计数浓度1,200单位/mL（计数丢失在5%以内）权力DC12V（由KE-40B1供电）大小约160毫米（水平）×300毫米（宽）×251毫米（深...

光刻胶溶液和SOG中的颗粒可以在0.1μm范围内测量可连接到多点监控系统规范光学系统方式横向散射法光源用半导体激光器泵浦的固体激光器（波长532nm，额定功率500mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分类0.1μm~0.5μm范围内的10个级别（可选0.07μm，用于纯水等透明液体）运输：0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高、0.35个≥μm和≥0.5μm的水平额定流量5毫升/分钟最大颗粒计数浓度9,600单位/mL（计数丢失在10%以内）权力DC12V（...

化学溶液中0.05μm颗粒的测量实现10%的计数效率使用蓝宝石电池可以测量氢氟酸等。批量和在线测量的多种选择规范光学系统方式横向散射法光源用半导体激光器泵浦的固体激光器（波长532nm，额定功率500mW）接液部件材料蓝宝石，PFA粒度分类2至10步，范围为0.05μm~0.2μm运输：0.05μm或更高、0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高的4个级别额定流量10毫升/分钟最大颗粒计数浓度30,000个/mL（计数丢失在10%以内）权力DC12V（由KE-4...

化学溶液中0.03μm颗粒的测量最小可测量粒径：0.03μm使用蓝宝石电池可以测量氢氟酸等。批量和在线测量的多种选择规范光学系统方式横向散射法光源用半导体激光器泵浦的固体激光器（波长532nm，额定功率800mW）接液部件材料蓝宝石，PFA粒度分类2至10个级别，范围从0.03μm~0.13μm发货：0.03μm或更高、0.06μm或更高、0.1μm或更高、0.1μm或更高的4个级别额定流量10毫升/分钟最大颗粒计数浓度40,000单位/mL（计数丢失在10%以内）权力DC1...

化学溶液中0.02μm颗粒的测量最小可测量粒径：0.02μm使用蓝宝石电池可以测量氢氟酸等。批量和在线测量的多种选择规范光学系统方式横向散射法光源用半导体激光器泵浦的固体激光器（波长532nm，额定功率1.5W）接液部件材料蓝宝石，PFA粒度分类2至7个水平，范围为0.02μm~0.08μm运输：0.02μm或更高、0.03μm或更高、0.04μm或更高、0.06μm或更高的4个级别额定流量10毫升/分钟最大颗粒计数浓度50,000个/mL（计数丢失在10%以内）权力交流10...

汽化器(直接汽化法)用液体质量流量计测量质量及流量，采用后置汽化器将对全部液体进行汽化的方式。直接汽化法的基本原理汽化器直接汽化法流程图直接汽化法使用液体质量流量计进行质量测量，并通过汽化器内置的控制阀将流量控制后的液体连续引入汽化室。在汽化室中，液体被瞬间汽化。虽然所控制的是液体，但瞬间汽化后的气体质量不会改变，因此，如果是可以瞬间连续汽化的汽化器，液体主要的质量流量=汽化器出口处的气体质量流量。由于汽化浓度的要素由MFC直接控制，因此稳定性，可进行高浓度汽化，这是鼓泡法难...

温度控制单元TCU该系列产品是用于汽化器(VU系列)、热交换器(HX系列)、供应槽和管路加热等的温度控制单元。原理上该产品使用电子温度控制器和SSR(固态继电器)来进行温度控制。当检测到温度异常升高时，会自动停止向各种加热设备供电，以防止温度过高。2系统（独立）温度调节单元TCU-3-2连接示例TCU通过专用电缆连接到汽化器(VU系列)或热交换器(HX系列)等LINTEC的加热设备上。温度由TCU的电子温度控制器控制。加热设备的电源也由该TCU提供。规格表TCU-3-1TCU...